沉积时间对厚层、微结构、微孔电阻的影响与电镀技术沉积结果

M. Toifur, N. A, O. O, Irma Sukarelawan
{"title":"沉积时间对厚层、微结构、微孔电阻的影响与电镀技术沉积结果","authors":"M. Toifur, N. A, O. O, Irma Sukarelawan","doi":"10.24198/JMEI.V7I02.16132","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Telah dibuat lapisan tipis Cu/Ni pada variasi waktu deposisi Ni dengan metode elektroplating. Penelitian bertujuan untuk menentukan pengaruh waktu deposisi terhadap tebal lapisan Ni, struktur mikro, dan resistivitas lapisan. Sebagai elektroda digunakan pelat nikel dan tembaga, sedangkan larutan elektrolit dibuat dari paduan NiSO4 75g, NiCl2 10g , H3BO3 7,5g, dan H2O 250 ml. Deposisi dilakukan pada tegangan 1,5 volt, jarak antar elektroda 4 cm, dan suhu 60°C. Waktu deposisi divariasi dari 1 menit sampai 5 menit. Karakterisasi sampel dilakukan dengan memotret tampang permukaan Ni dan tampang lintang Cu/Ni menggunakan foto SEM,  analisis kandungan unsurnya menggunakan EDS untuk sampel hasil deposisi 1 menit dan 5 menit, karakterisasi struktur mikro dengan XRD, tebal lapisan Ni dengan perhitungan, serta resistivitas keping dilakukan dengan alat probe empat titik. Hasil penelitian menunjukkan bahwa tebal lapisan Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari foto SEM pada permukaan lapisan Ni terlihat bahwa sampel hasil deposisi Ni selama 1 menit belum menampakkan adanya butir-butir Ni sedangkan pada sampel hasil deposisi Ni selama 5 menit telah menampakkan butir-butir Ni. Dari analisis menggunakan EDS diperoleh bahwa pada lapisan Cu/Ni mengandung elemen Ni dan Cu serta senyawa NiO dan CuO dengan kadar Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari analisis struktur mikro menggunakan XRD diperoleh beberapa fasa yaitu Cu, Ni, dan NiO berstruktur kristal sedangkan fasa CuO berstruktur amorf. Dari nilai resistivitas keping, semakin lama waktu deposisi resistivitas keping semakin berkurang.","PeriodicalId":209447,"journal":{"name":"Jurnal Material dan Energi Indonesia","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2018-01-20","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"2","resultStr":"{\"title\":\"PENGARUH WAKTU DEPOSISI PADA TEBAL LAPISAN, STRUKTUR MIKRO, RESISTIVITAS KEPING LAPISAN TIPIS CU/NI HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK ELEKTROPLATING\",\"authors\":\"M. Toifur, N. A, O. O, Irma Sukarelawan\",\"doi\":\"10.24198/JMEI.V7I02.16132\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Telah dibuat lapisan tipis Cu/Ni pada variasi waktu deposisi Ni dengan metode elektroplating. Penelitian bertujuan untuk menentukan pengaruh waktu deposisi terhadap tebal lapisan Ni, struktur mikro, dan resistivitas lapisan. Sebagai elektroda digunakan pelat nikel dan tembaga, sedangkan larutan elektrolit dibuat dari paduan NiSO4 75g, NiCl2 10g , H3BO3 7,5g, dan H2O 250 ml. Deposisi dilakukan pada tegangan 1,5 volt, jarak antar elektroda 4 cm, dan suhu 60°C. Waktu deposisi divariasi dari 1 menit sampai 5 menit. Karakterisasi sampel dilakukan dengan memotret tampang permukaan Ni dan tampang lintang Cu/Ni menggunakan foto SEM,  analisis kandungan unsurnya menggunakan EDS untuk sampel hasil deposisi 1 menit dan 5 menit, karakterisasi struktur mikro dengan XRD, tebal lapisan Ni dengan perhitungan, serta resistivitas keping dilakukan dengan alat probe empat titik. Hasil penelitian menunjukkan bahwa tebal lapisan Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari foto SEM pada permukaan lapisan Ni terlihat bahwa sampel hasil deposisi Ni selama 1 menit belum menampakkan adanya butir-butir Ni sedangkan pada sampel hasil deposisi Ni selama 5 menit telah menampakkan butir-butir Ni. Dari analisis menggunakan EDS diperoleh bahwa pada lapisan Cu/Ni mengandung elemen Ni dan Cu serta senyawa NiO dan CuO dengan kadar Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari analisis struktur mikro menggunakan XRD diperoleh beberapa fasa yaitu Cu, Ni, dan NiO berstruktur kristal sedangkan fasa CuO berstruktur amorf. Dari nilai resistivitas keping, semakin lama waktu deposisi resistivitas keping semakin berkurang.\",\"PeriodicalId\":209447,\"journal\":{\"name\":\"Jurnal Material dan Energi Indonesia\",\"volume\":null,\"pages\":null},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2018-01-20\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"2\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Jurnal Material dan Energi Indonesia\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.24198/JMEI.V7I02.16132\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Jurnal Material dan Energi Indonesia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.24198/JMEI.V7I02.16132","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 2

摘要

用电镀方法在不同的沉积时间上做了一层Cu/Ni涂层。研究的目的是确定沉积时间对厚膜、微结构和电阻率的影响。作为电极使用镀镍和铜合金制成,而电解质溶液NiSO4 75g, NiCl2 10g, H3BO3 7,5g,水250毫升。进行1.5伏特电压的证词,电极之间的距离4厘米,60°C的温度。证词时间从一分钟增加到五分钟。样本描述是通过使用SEM照片拍摄到表面和纬度Cu/Ni的外观,用EDS对沉积样本1分钟和5分钟的内容进行分析,用XRD、深层Ni涂层计算和4个点探头进行对微结构的描述和电阻进行分析。研究表明,这一层的厚度与沉积的时间成正比。从岩层表面的SEM照片可以看出,Ni沉积的样本一分钟内没有显示任何颗粒,而Ni沉积的样本中已经显示了5分钟。通过使用EDS的分析,在Cu/Ni层中发现了微量的Ni和Cu元素以及NiO和CuO化合物,这些成分与Ni沉积的时间成正比。通过对XRD微结构的分析,我们获得了铜、Ni和晶体结构NiO相,而相CuO结构无序。幅幅画的电阻率值越长,幅画的电阻率沉积就越少。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
PENGARUH WAKTU DEPOSISI PADA TEBAL LAPISAN, STRUKTUR MIKRO, RESISTIVITAS KEPING LAPISAN TIPIS CU/NI HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK ELEKTROPLATING
Telah dibuat lapisan tipis Cu/Ni pada variasi waktu deposisi Ni dengan metode elektroplating. Penelitian bertujuan untuk menentukan pengaruh waktu deposisi terhadap tebal lapisan Ni, struktur mikro, dan resistivitas lapisan. Sebagai elektroda digunakan pelat nikel dan tembaga, sedangkan larutan elektrolit dibuat dari paduan NiSO4 75g, NiCl2 10g , H3BO3 7,5g, dan H2O 250 ml. Deposisi dilakukan pada tegangan 1,5 volt, jarak antar elektroda 4 cm, dan suhu 60°C. Waktu deposisi divariasi dari 1 menit sampai 5 menit. Karakterisasi sampel dilakukan dengan memotret tampang permukaan Ni dan tampang lintang Cu/Ni menggunakan foto SEM,  analisis kandungan unsurnya menggunakan EDS untuk sampel hasil deposisi 1 menit dan 5 menit, karakterisasi struktur mikro dengan XRD, tebal lapisan Ni dengan perhitungan, serta resistivitas keping dilakukan dengan alat probe empat titik. Hasil penelitian menunjukkan bahwa tebal lapisan Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari foto SEM pada permukaan lapisan Ni terlihat bahwa sampel hasil deposisi Ni selama 1 menit belum menampakkan adanya butir-butir Ni sedangkan pada sampel hasil deposisi Ni selama 5 menit telah menampakkan butir-butir Ni. Dari analisis menggunakan EDS diperoleh bahwa pada lapisan Cu/Ni mengandung elemen Ni dan Cu serta senyawa NiO dan CuO dengan kadar Ni sebanding dengan waktu deposisi Ni. Dari analisis struktur mikro menggunakan XRD diperoleh beberapa fasa yaitu Cu, Ni, dan NiO berstruktur kristal sedangkan fasa CuO berstruktur amorf. Dari nilai resistivitas keping, semakin lama waktu deposisi resistivitas keping semakin berkurang.
求助全文
通过发布文献求助,成功后即可免费获取论文全文。 去求助
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信