A Study on Electrochemical Machining Method in Ultrapure Water

1. はじめに 物質が原子で構成されている以上, 原子1個 を 単位 とする加工が超精密加工の究極の姿である ことは, 疑う余地の無いことであろう. 筆者(森) は, この信念のもと, 40年 にわたって原子単位の 加工精度 を実現す ることを目的として超精密加 工法の研究 ・開発を行ってきた. その結果として, EEM (Elastic Emission Machinjng)1)2)やP-CVM (Plasma-Chemical Viaporization Machining)3)4)といつ た新 しい超精密加工法が産み出された. これら超 精密加工法の加工原理は, すべて材料表面での化 学反応によってお り, 表面原子が1個 づつ除去さ れてゆく 「物理 ・化学現象」を応用したものであ る. 従って, 従来の機械的 ・熱的加工法の延長線 上に載ったものではなく, 加工物表面の原子 ・電 子の振 る舞いを深 く考察することによって初め て考案することができた, 独創的な加工法 といえ る. 一方, このような化学反応を利用した加工法と