Исследование структуры и свойств покрытий Mo-(Y)-Zr-Si-B, полученных методом магнетронного распыления

В работе проведены исследование влияния добавки Y на структуру и свойства покрытий Mo-Zr-Si-B, полученных магнетронным распылением мозаичной мишени ((90%MoSi2 + 10%MoB) + 5%ZrB2)/Y. Установлено, что легирование иттрием приводит к снижению скорости роста в 1.2–1.7 раза. Размер кристаллитов h-MoSi2 уменьшался в 1.5–7.5 раза с увеличением концентрации Y от 0 до 4.8 ат.%. Максимальной твердостью 23 ГПа обладали базовое покрытие и покрытие, полученное с использованием 1 сегмента Y. Использование 2 и 3-х сегментов иттрия привело снижению Н на 9–14%. Введение иттрия положительно влияло на жаростойкость покрытий при температуре 1000°C.