Energy Spectra of Backscattered Electrons for Solid Films and Double Layers by Use of Werner's Analytic Model

Expressions for the energy spectrum of electrons backscattered from solid films and double layers as a function of incident electron energy, angle of incidence, film thickness, and atomic number of target are derived from Werner's analytic model. Values calculated from these expressions agree well with existing experimental and Monte Carlo data. Aus dem analytischen Modell nach Werner werden Ausdrucke fur das Energiespektrum von Ruck-streuelektronen aus dunnen Festkorperschichten und Doppelschichten als Funktion der Energie der einfallenden Elektronen, des Einfallswinkels, der Schichtdicke und der Ordnungszahl des Targets hergeleitet. Aus diesen Ausdrucken burechnete Werte stimmen gut mit vorliegenden experimentellen und Daten aus Monte-Carlo-Rechnungen uberein.