Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

L’evaluation thermodynamique de la phase gazeuse des precurseurs pour les procedes de depots de couches atomiques (ALD) permet de definir les conditions operatoires optimales, de prevoir toutes les reactions possibles et d’estimer la consommation d'energie associee a d’eventuelles transformations. Cet article offre a l’ingenieur qui utilise le procede ALD avec des precurseurs organometalliques une methode de construction des proprietes de la phase gazeuse a partir des donnees structurelles des molecules. Les techniques experimentales qui permettent d’obtenir directement les informations sur la phase gazeuse et l’illustration d’exploitation de ces donnees thermodynamiques sont donnees.