溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的光学、结构和电学性能

A. Díaz
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摘要

本研究的目的是评估氧化锌掺杂在0.65 M浓度下的薄膜,采用溶胶-凝胶法合成,并采用自旋涂层法沉积在石英基体上。研究了退火温度(400、500和600℃)和掺杂剂摩尔百分比(2、4、6和8%)对电学和形貌性能的影响。据发现,ZnO薄膜呈现更大更高的导电性电气和粮食掺杂2% Mg与600°C烤糊温度,8.55x10-7Ω-1cm-1分别和38.56 nm。还少,导电性和小粒,一个使用兴奋剂的8%毫克气温华氏400°C烤糊,价值观1.48x10-7Ω-1cm-1 14.13毫微米;因此,晶粒尺寸随温度的升高而增大;但随着Mg摩尔浓度的增加而降低。利用X射线衍射峰(xrd)上的谢勒方程确定了晶粒尺寸。结果表明,Mg掺杂氧化锌薄膜具有六方纤锌矿型结构,优先取向为平面(002)。关键词:溶胶-凝胶法,载流子,迁移率,纳米结构。
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Propiedades ópticas, estructurales, y eléctricas de películas delgadas de ZnO - Mg preparadas por el método sol - gel
En la presente investigación se evaluaron películas delgadas de ZnO dopadas con Mg a una concentración de 0.65 M, sintetizadas por el método sol-gel, y depositadas en sustratos de cuarzo por el método de spin-coating. Se determinó el efecto de la temperatura de recocido (400, 500 y 600°C) y del porcentaje molar del dopante       (2, 4, 6 y 8%), sobre las propiedades eléctricas y morfológicas. Se encontró que las películas delgadas de ZnO muestran la mayor conductividad eléctrica y mayor tamaño de grano al dopaje de 2% de Mg con una temperatura de recocido de 600°C, siendo de 8.55x10-7Ω-1cm-1 y de 38.56 nm respectivamente. Así también, la menor conductividad eléctrica y el menor tamaño de grano, se da a un dopaje del 8% de Mg con una temperatura de recocido de 400°C, siendo los valores de 1.48x10-7 Ω-1cm-1 y 14.13 nm; de modo que, el tamaño de grano crece con el incremento de la temperatura; pero disminuye a medida que aumenta la concentración molar de Mg. El tamaño de grano se determinó mediante la ecuación de Scherrer sobre los picos de difracción de rayos X (DRX). Los resultados mostraron que las películas delgadas de ZnO dopadas con Mg poseen una estructura hexagonal tipo wurtzita con una orientación preferencial al plano (002). Palabras clave: Método sol-gel, Portadores de carga, Movilidad, Nanoestructuras.
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