LIGA method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio

Resource-Efficient Technologies Pub Date : 2018-07-23 DOI:10.18799/24056537/2018/2/186

B. Goldenberg, A. Lemzyakov, V. Nazmov, E. Palchikov

{"title":"LIGA method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio","authors":"B. Goldenberg, A. Lemzyakov, V. Nazmov, E. Palchikov","doi":"10.18799/24056537/2018/2/186","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.","PeriodicalId":21019,"journal":{"name":"Resource-Efficient Technologies","volume":"25 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2018-07-23","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Resource-Efficient Technologies","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.18799/24056537/2018/2/186","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.

查看原文本刊更多论文

形成高对比度准直器和高纵横比抗散射网格的LIGA方法

这篇文章讨论了用高对比性反扫描x射线网创建和应用的问题，用于x射线显微焦x管20-200 kev的可视化。镍晶格的结构是高方面的——原型系数被用来观察imu -2- 150d x射线基线上的反射率。显示对散射辐射的抑制和定向辐射电路的收缩。镍原型的对比似乎不够。这篇文章介绍了LIGA在西伯利亚同步加速器和特拉公爵辐射中心制造反扫描x射线网的方法。描述了使用深度x射线石刻法创建橡胶视网膜结构的方法，并展示了测试结构。目前正在开发x射线网格技术来防止散射。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Resource-Efficient Technologies

自引率

0.00%

发文量

审稿时长

7 weeks