An integrated, silica-based, MEMS-actuated, tunable-bandwidth optical filter with low minimum bandwidth

CLEO: 2013 Pub Date : 2013-06-09 DOI:10.1364/CLEO_SI.2013.CTH4F.3

K. Grutter, A. Yeh, A. Grine, Ming C. Wu

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Abstract

We present a MEMS-actuated tunable-bandwidth filter implemented in phosphosilicate glass (PSG). Tuning range is 0.8 to 8.5GHz. Based on performance of our stand-alone PSG resonator, minimum bandwidth in PSG can be as low as 30MHz.

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一种集成的、硅基的、mems驱动的、具有低最小带宽的可调带宽光滤波器

我们提出了一个微机电驱动的可调带宽滤波器实现在磷硅酸盐玻璃(PSG)。调谐范围为0.8至8.5GHz。基于我们的独立PSG谐振器的性能，PSG中的最小带宽可以低至30MHz。

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CLEO: 2013

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