The Effect of Perimeter Geometry on FBAR Resonator Electrical Performance

IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, 2005. Pub Date : 2005-06-12 DOI:10.1109/MWSYM.2005.1516563

R. Ruby, J. Larson, C. Feng, S. Fazzio

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Abstract

We describe the first four Lamb-Rayleigh modes seen in an FBAR resonator. We also describe the effect of apodization (non parallel edges) have on the kx-ky space as compared to square resonators.

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周长几何形状对FBAR谐振器电性能的影响

我们描述了在FBAR谐振器中看到的前四种兰姆-瑞利模式。我们还描述了与方形谐振器相比，apodiization(非平行边)对kx-ky空间的影响。

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IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, 2005.

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