Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок "сверху-вниз"

Физика и техника полупроводников Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.21883/ftp.2023.05.56201.28k

А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин

{"title":"Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок \"сверху-вниз\"","authors":"А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин","doi":"10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---\"сверху-вниз\". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.","PeriodicalId":24054,"journal":{"name":"Физика и техника полупроводников","volume":"3 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Физика и техника полупроводников","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---"сверху-вниз". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.

查看原文本刊更多论文

生物相容的SiC-纳米管的形成

在单晶基质上合成碳化硅层的实验中，通过协调位移原子的方法发现碳化硅薄膜的形成可能伴随着碳化硅纳米管的形成。因此，碳化硅纳米管的新形成机制首次被发现——从上到下。关键字:碳化硅，纳米管，液态晶体蒸汽，纳米手臂形成。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Физика и техника полупроводников

自引率

0.00%

发文量