The solutions for 3D-NAND processes with Canon's latest KrF scanner

2017 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) Pub Date : 2017-03-01 DOI:10.1109/CSTIC.2017.7919772

M. Yamada, Hajime Takeuchi, K. Mishima, K. Yoshimura, Kazuhiro Takahashi

引用次数: 2

Abstract

The NAND type flash-memory is now used not only on smart phones or tablet PCs, but also adopted on infrastructures such as servers, etc.

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3D-NAND工艺的解决方案与佳能最新的KrF扫描仪

NAND型闪存不仅用于智能手机或平板电脑，而且还用于服务器等基础设施。

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