HELIUM ION MICROSCOPE

IF 0.8 4区材料科学 Q4 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY

Advanced Materials & Processes Pub Date : 2010-04-05 DOI:10.1201/9781420075250-C39

L. Scipioni, L. Stern, J. Notte, Sybren Sijbrandij, B. Griffin

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Abstract

The key technologies that comprise the helium ion microscope are described in detail. Specific attention is given the cryogenic cooling system, the vacuum system, the gas delivery system, the ion-optical column, the detector and imaging system, and vibrational considerations.

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氦离子显微镜

详细介绍了构成氦离子显微镜的关键技术。特别注意了低温冷却系统、真空系统、气体输送系统、离子光学柱、探测器和成像系统以及振动方面的考虑。

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