Switchable 2-port Aluminum Nitride MEMS resonator using monolithically integrated 3.6 THz cut-off frequency phase-change switches

时间频率公报 Pub Date : 2015-04-12 DOI:10.1109/FCS.2015.7138939

G. Hummel, M. Rinaldi

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Abstract

This work presents the first experimental demonstration of an intrinsically switchable Aluminum Nitride (AlN) 2-port MEMS resonator using 3 monolithically integrated chalcogenide phase change material (PCM) switches.

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采用单片集成3.6太赫兹截止频率相变开关的可切换2端口氮化铝MEMS谐振器

这项工作提出了一个本质上可切换的氮化铝(AlN) 2端口MEMS谐振器的第一个实验演示，该谐振器使用3个单片集成硫系相变材料(PCM)开关。

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