A high performance optomechanical mass sensor

2017 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO) Pub Date : 2017-05-14 DOI:10.1364/CLEO_AT.2017.JW2A.14

Yeping Zhang, Jie Ai, Yanjun Xiang, Qinghua He, Tao Li

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Abstract

A mass sensor based on split-nanobeam optomechanical crystal cavity with effective motion mass below 10fg and mechanical frequency exceed 10GHz is proposed. Based on our simulation, exceed 10MHz/fg detection sensitivity can be realized.

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提出了一种有效运动质量小于10fg、机械频率大于10GHz的基于分裂纳米光束光机械晶体腔的质量传感器。通过仿真，可以实现超过10MHz/fg的检测灵敏度。

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