Le pôle de métrologie de SOLEIL

Abstract

Le Pole de METROLOGIE de SOLEIL a pour objet de creer sur le synchrotron SOLEIL, une plateforme constituee: • 'une ligne de lumiere utilisant le rayonnement synchrotron (metrologie dite a la longueur d'onde) • d'un laboratoire de metrologie associe (metrologie dite « classique ») Ces deux types de Metrologie sont l'une et l'autre indispensables pour soutenir l'activite de recherche instrumentale en optique X et X-UV. Ce projet de pole de METROLOGIE ne repondra pas seulement aux besoins des groupes charges de l'equipement du synchrotron SOLEIL en optiques et detecteurs mais aussi pour preparer, tester et mettre au point les postes experimentaux, ce qui concerne deja une large communaute d'utilisateurs. Il sera aussi largement ouvert, des sa mise en service, a l'ensemble de la communaute scientifique concernee par l'instrumentation X et XUV en Ile de France, en France, voire meme en Europe si la demande continue de croitre plus vite que l'offre dans ce domaine. Ligne de lumiere - Metrologie a la longueur d'onde La ligne de lumiere sera equipee de plusieurs stations permettant de mesurer, dans la plus grande partie du spectre couvert par le synchrotron, les parametres photometriques qui caracterisent les elements optiques, tels que: la reflectivite de surfaces, l'efficacite de diffraction des reseaux, la diffusion des surfaces ou l'efficacite des detecteurs X et X-UV et la calibration absolue. Cette installation pourra servir egalement a developper des instruments et des diagnostics necessaires a la caracterisation des faisceaux de rayons X (intensite, taille, degre de coherence, polarisation etc.) Metrologie Classique La metrologie des surfaces optiques est devenue une necessite critique pour les laboratoires et les industries qui utilisent les photons X et X-UV (synchrotrons, centres laser, etc..). En effet, les progres de calcul et de conception des systemes optiques pour ces longueurs d'onde (optiques de microfocalisation, monochromateurs, diagnostics d'imagerie) font que les performances de ces instruments sont desormais limitees par les imperfections de fabrication des composants optiques. La metrologie des surfaces optiques est donc une necessite imperieuse pour tous les acteurs du domaine, qui se doivent d'effectuer les controles appropries. Cette pression s'exerce aussi sur les moyens utilises pour effectuer ces mesures, car les incertitudes de mesure actuelles, notamment en ce qui concerne la regularite des surfaces, sont loin d'etre negligeables vis a vis des tolerances demandees. 11 est donc indispensable de faire evoluer les instruments de mesure et d'obtenir des gains significatifs de precision. Un travail particulier est en cours au laboratoire de Metrologie pour developper a cote des instruments commerciaux, des instruments prototypes sur des concepts originaux (mesures de profils de surface et mesures d'angle). Dans cet article, nous donnons des details des choix techniques utilises sur la ligne de METROLOGIE et TESTS et des performances attendues et nous decrirons le laboratoire de METROLOGIE en donnant des exemples d'optiques recemment testees.