Design and implementation of variable angle mechanism of generalized ellipsometer driven by single motor

Q4 Physics and Astronomy

光学应用 Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.5768/jao202344.0301006

Liu Zhengjie, Xue Peng, Chen Yuanyuan, Liu Yanlin, Xie Dayang, Zhang Rui

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光学应用 Physics and Astronomy-Atomic and Molecular Physics, and Optics

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