Modelowanie sił tłumiących występujących w układach perforowanych MEMS

Abstract

Streszczenie. na pracę wielu układów mikroelektromechanicznych mems duży wpływ wywierają siły tłumiące wynikające z istnienia pomiędzy płytkami tzw. filmu powietrznego. analityczne metody szacowania tych sił występują jedynie w prostych układach. Przy bardziej złożonych kształtach bardzo pomocne są metody numeryczne, których intensywny rozwój jest szczególnie zauważalny w ostatnich latach. wśród paru znanych na rynku programów umożliwiających analizę układów mems wyróżnić można program comsol multiphysics, który zawiera specjalistyczny moduł mems. w niniejszej pracy zostanie zweryfikowana przydatność powyższego programu w modelowaniu prostych oraz złożonych płytek zawierających perforacje w postaci otworów. celem wykonywania w płytkach otworów jest przeważnie chęć redukcji występujących sił tłumiących. zrealizowany szereg badań analityczno-numerycznych zobrazował liczne niedoskonałości programu comsol, które należałoby poprawić. Słowa kluczowe: mems, siły tłumiące, równanie reynoldsa, perforacje DOI: 10.5604/12345865.1186356