Modelowanie sił tłumiących występujących w prostych układach MEMS

Abstract

Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348