Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum

Abstract

Für Positioniersysteme mit einer Genauigkeit im Nanometer-Bereich gibt es eine stetig steigende Anzahl von Anwendungen. In der Halbleiterindustrie, aber nicht nur dort, sind inzwischen Positioniergenauigkeiten im Sub-Nanometerbereich gefragt. Bei der vertikalen Bewegung dieser Systeme kommt hinzu, dass dabei die Masse des Objektes getragen werden muss. Kennzeichen eines neuen Positioniersystems ist der deutlich vergrößerte Arbeitsbereich, sowohl in horizontaler wie auch in vertikaler Richtung. Das 6D-Antriebssystem kann größere Objekte in den drei Raumachsen und der jeweiligen Rotation um diese Achsen präzise im Raum positionieren.