Efek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD

Abstract

Pendeposisian sejumlah film tipis Co:TiO 2 telah selesai dilakukan. Film dideposisikan pada substrat Si(100) tipe-n menggunakan teknik MOCVD. Konsentrasi doping Co bervariasi dari 0,1 % sampai dengan 1,1 %. Penelitian ini difokuskan pada efek doping Co pada konstanta kisi film tipis polikristal TiO 2 . Hasil penelitian menunjukkan bahwa pemberian doping Co pada film TiO 2 menyebabkan penyusutan konstanta kisi film tersebut.