A. Schulz, Martina Leins, Jochen Kopecki, Matthias Walker, U. Stroth
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Abstract
Die Entwicklung des Mikrowellen‐Plasmabrenners zeigt, dass eine Kombination von zwei Resonatoren zielführend für eine zuverlässige Zündung unter Atmosphärendruck und einen stabilen Dauerbetrieb mit hohen Leistungen ist. Durch den koaxialen Bereich kann ein angepasstes Gasmanagement mit Hüllströmungen und guter Durchmischung erzeugt werden. Die spektroskopische Untersuchung des Brenners gibt Aufschluss über die räumliche Temperaturverteilung im Plasma. Dazu wird die Verteilung der OH‐Rotations‐Schwingungsbande mit hoher spektroskopischer Auflösung sichtliniengemittelt aufgenommen. Bei einem Luftplasma wird eine konstante Gastemperatur von 3600 K im Kern ermittelt. Sie ist unabhängig von den äußeren Parametern, wie Mikrowellenleistung oder Gasfluss. Einzig das Plasmavolumen passt sich an, um den Energieinhalt konstant zu halten.
期刊介绍:
VIP – Vakuum in Forschung und Praxis - Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten ist die einzige Zeitschrift für alle Bereiche der Vakuumtechnologie und Dünnschichttechnik, die sich als Brücke und Bindeglied zwischen Wissenschaftlern, Praktikern und Anwendern aus Forschung, Entwicklung und Produktion versteht. Sie berichtet und informiert über neueste Entwicklungen und Erkenntnisse. VIP – Vakuum in Forschung und Praxis veröffentlicht u.a. - Übersichtsartikel - Fachaufsätze - referierte Beiträge aus der Forschung - Anwenderberichte - Produktinformationen - Interviews - Buchbesprechungen und -hinweise - Produkt- und Lieferantenverzeichnis