Ultradünne Diamantschichten

IF 0.2 Q4 ENGINEERING, MECHANICAL

Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2022-10-01 DOI:10.1002/vipr.202200794

Stephan Handschuh‐Wang, M. Handschuh, Tao Wang

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Abstract

Diamantschichten sind seit einiger Zeit für industrielle Produkte wie Zerspanwerkzeuge erhältlich. Seither hat sich der Schwerpunkt der Forschung auf ultradünne und multifunktionale Diamantschichten verlagert. Für die Herstellung von ultradünnen Schichten (≤ 100 nm) war und ist interdisziplinäre Forschung von essentieller Bedeutung. Dieser Artikel eruiert die wesentlichen Entwicklungsschritte, welche die Synthese von ultradünnen Diamantschichten ermöglicht haben, und beschreibt neue Anwendungsgebiete, die sich aus der Dünne der Diamantschicht und der Einstellbarkeit ihrer Eigenschaften ergeben.

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国际钻石树

钻石层也开始呈现在工业生产仪器中，如碾碎工具。自那以后，所有的研究焦点都转移到了极端薄的多功能性的钻石层。生产ultradünnen层(≤100 nm)过去是、现在的研究面上.意义本文探索了使极端薄的钻石层得以合成的主要改良步骤，也说明了由于钻石层的薄而具有的刚巧特性。

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Vakuum in Forschung und Praxis ENGINEERING, MECHANICAL-

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