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Surface Defect Properties of Prime, Test-Grade Silicon Wafers

IF 0.3 Q4 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
Korean Journal of Materials Research Pub Date : 2022-09-30 DOI:10.3740/mrsk.2022.32.9.396
Seungje Oh, H. Yim, Donghee Lee, D. Seo, Won Jin Kim, Ryun Na Kim, Woo-Byoung Kim
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Korean Journal of Materials Research
Korean Journal of Materials Research MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY-
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