Control of subthreshold swing using an in situ PEALD nano-laminated IGZO/Al2O3 multi-channel structured TFT

IF 3.7 3区工程技术 Q2 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY

Journal of Information Display Pub Date : 2023-08-22 DOI:10.1080/15980316.2023.2249244

Won-Bum Lee, Yoon‐Seo Kim, Jin-Seong Park

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使用原位PEALD纳米层压IGZO/Al2O3多通道结构TFT控制亚阈值摆动

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Journal of Information Display MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY-

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