用 RF-PECVD 法制备类金刚石薄膜

Q4 Materials Science

Cailiao Yanjiu Xuebao/Chinese Journal of Materials Research Pub Date : 2021-02-05 DOI:10.11901/1005.3093.2020.142

熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝, Wenwen Xiong, Song He, Songsheng Zheng, Q. Cheng, Hongxun Sheng, Chao Chen

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