Chemical vapor deposition fabricates metal-organic frameworks for gas sensing

Scilight Pub Date : 2024-07-16 DOI:10.1063/10.0028066

A. Thompson

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Abstract

MOFs deposited on microcantilevers are more sensitive while being compatible with existing clean room techniques.

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化学气相沉积制造出用于气体传感的金属有机框架

沉积在微悬臂上的 MOF 具有更高的灵敏度，同时与现有的无尘室技术兼容。

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