DEVELOPMENT HARDWARE FOR OPTICAL DEFECT INSPECTION SYSTEM TOPOLOGY OF ELECTRONIC COMPONENTS

Abstract

рассматривается один из этапов проекта по разработке, изготовлению и тестированию опытного образца программно-аппаратного комплекса оптической дефектовки топологии электронных компонентов. Сформулирована проблема, обосновывающая необходимость создания подобного комплекса оптической инспекции, а также сложности, возникающие при интеграции в существующий технологический процесс. Поставлена задача данного этапа, заключающаяся в выборе комплектующих для создания аппаратной части системы, определении подхода к их интеграции в существующую конструкцию инспекционного оптического прибора, а также разработке принципов автоматизированного управления перемещением предметного столика. Проведен выбор используемого аппаратного обеспечения, обосновано применение промышленного инспекционного микроскопа Nexcope NX1000 и цифровой камеры Dahemg imaging MER2-2000-19U3C в контексте дальнейшего использования как системы машинного зрения. Представлена разработанная структурная схема программно-аппаратного комплекса оптической дефектовки топологии электронных компонентов, с учетом применения нейросетевых алгоритмов для автоматизации процесса выходного оптического неразрушающего контроля. Описана предлагаемая система автоматизированного перемещения предметного столика микроскопа, приведена ее функциональная схема и предложен вариант технической реализации. Указаны основные требования к компонентам системы автоматизированного перемещения, а также способ ее интеграции в инспекционный микроскоп Nexcope NX1000 the article discusses one of the stages of a project aimed at developing, manufacturing, and testing a prototype of a software-hardware complex for optical defect inspection of electronic component topology. The problem justifying the need for such an optical inspection complex is formulated. The task for this stage involves selecting hardware and determining the approach for its integration with software modules, as well as developing principles for automated control of the movement of the inspection microscope's stage. The selection of the hardware used is conducted and the application of the industrial inspection microscope Nexcope NX1000 and the digital camera Dahemg imaging MER2-2000-19U3C is justified. The designed structural scheme of the software-hardware complex for optical defect inspection of electronic components is presented. The proposed system for automated movement of the microscope stage is described, and its functional diagram is provided. The main requirements for the components of the automated movement system, as well as the method of its integration into the inspection microscope Nexcope NX1000, are specified. The work was carried out with financial support from the Federal State Budgetary Institution "Foundation for Assistance to Small Innovative Enterprises in Science and Technology" within the framework of the Start-23-1 competition (Queue II) (contract No. 5049GS1/89569 dated 24.10.2023)