气簇离子辐照下的表面纳米氧化物形成模型

摘要 提出了一个在气体团簇离子照射下表面纳米氧化物演变的模型。该模型基于对单个离子群与表面碰撞的考虑。碰撞区域溅射出的物质数量及其在其他表面元素上重新沉积的效率均可确定。该模型的性能通过与实验数据的对比得以证明。研究了平滑模型谐波浮雕的各个阶段。提出了一种新的表面平滑效率测量方法。