Review of: "Microelectromechanical systems (MEMS) have proven successful in making nanosystems and nanostructures smaller, faster, and cheaper. Today's MEMS devices, typically made to micron (10 to 6 nanometers) in size, include airbag accelerometers"

Qeios Pub Date : 2024-03-13 DOI:10.32388/1xbj20

Kelara Simpson

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回顾："微机电系统（MEMS）在使纳米系统和纳米结构更小、更快、更便宜方面取得了成功。如今的微机电系统设备通常只有微米（10 到 6 纳米）大小，包括安全气囊加速度计"。

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