用于串联太阳能电池的硅基板分层抗反射表面

摘要 研究了在界面上具有分层抗反射表面的串联硅/过氧化物结构的结构和光学特性。该表面由微米级金字塔和纳米级短针组成，分别通过化学和反应离子蚀刻硅衬底形成。结果表明，没有气孔和空隙的过氧化物薄膜覆盖着一个具有高一致性的分层表面。制造出的样品在很宽的辐射波长范围内都具有低反射率的特点。