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マイクロ波励起高密度基材近傍プラズマによるTiC膜の作製

Journal of the Japan Institute of Metals and Materials Pub Date : 2024-01-01 DOI:10.2320/jinstmet.j2023017
Yusuke Ushiro, Ippei Tanaka, Y. Harada, Takashi Ogisu
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利用微波激发的高密度近基底等离子体制备 TiC 薄膜。
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Journal of the Japan Institute of Metals and Materials
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