ОСОБЕННОСТИ МИКРОСТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ТОНКИХ СФЕРОЛИТОВЫХ ПЛЕНОК ЦТС, СФОРМИРОВАННЫХ ДВУХСТАДИЙНЫМ МЕТОДОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ

IF 0.2 Q4 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY

Physical and Chemical Aspects of the Study of Clusters, Nanostructures and Nanomaterials Pub Date : 2023-12-15 DOI:10.26456/pcascnn/2023.15.196

М. В. Старицын, Дмитрий Анатольевич Киселев, В. П. Пронин, А.Н. Крушельницкий, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И. П. Пронин

引用次数: 0

查看原文本刊更多论文

用两级高频磁控沉积法形成的 TST 薄球状膜的微观结构和特性的特殊性

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

自引率

33.30%

发文量

审稿时长

10 weeks