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ナノギャップデバイスによる真空度測定の検討

Q4 Engineering
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Pub Date : 2023-12-01 DOI:10.1541/ieejsmas.143.391
Kazuki Komiya, Koki Nagata, Hidehiko Yamaoka, S. Date, Yuito Miyashita, Min Yan
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利用纳米间隙装置进行真空测量的研究。
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IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Engineering-Mechanical Engineering
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