基于自对准技术的4管像素寄生电容建模与分析

IF 0.9 4区 物理与天体物理 Q4 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
杜雅娟 Du Yajuan, 高静 Gao Jing, 高志远 Gao Zhiyuan, 聂凯明 Nie Kaiming
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Abstract

转换增益是微光CMOS图像传感器的重要参数,转换增益的提高有助于提升图像传感器的信噪比,进而提升灵敏度和成像质量。由于转换增益与像素的寄生电容成反比关系,为有效提升转换增益,提出了一种基于自对准技术的4管有源像素寄生电容的二维物理模型。该模型建立了像素寄生电容与注入条件之间的关系,其中包括注入剂量、注入能量和复位电压,该模型的计算结果与TCAD仿真结果具有较高的一致性,二者之间的方差小于0.0028 fF2,验证了该模型的准确性。该模型能应用于高性能图像传感器尤其是高灵敏度微光图像传感器的设计和优化中。
基于自对准技术的4管像素寄生电容建模与分析
转换增益是微光CMOS图像传感器的重要参数,转换增益的提高有助于提升图像传感器的信噪比,进而提升灵敏度和成像质量。由于转换增益与像素的寄生电容成反比关系,为有效提升转换增益,提出了一种基于自对准技术的4管有源像素寄生电容的二维物理模型。该模型建立了像素寄生电容与注入条件之间的关系,其中包括注入剂量、注入能量和复位电压,该模型的计算结果与TCAD仿真结果具有较高的一致性,二者之间的方差小于0.0028 fF2,验证了该模型的准确性。该模型能应用于高性能图像传感器尤其是高灵敏度微光图像传感器的设计和优化中。
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期刊介绍: Laser & Optoelectronics Progress, the first laser and optoelectronics journal published in China. The main columns include general, lasers and laser optics, fiber optics and optical communications, optical design and fabrication, materials, image processing, imaging systems, optical devices, remote sensing and sensors, atmospheric optics and oceanic optics, diffraction and gratings, atomic and molecular physics, detectors, thin films, ultrafast optics, etc. The journal is included in ESCI, INSPEC, Scopus, CSCD, Chinese Core Journals, Chinese Science and Technology Core Journals, and T2 level of the Classified Catalogue of High Quality Science and Technology Journals in Optical Engineering and Optical Fields, and other databases.
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