Automatic spectral calibration of a wavelength and angle resolved scatterometer

Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022 Pub Date : 1900-01-01 DOI:10.1364/oic.2022.thb.9

M. Fouchier, M. Zerrad, M. Lequime, C. Amra

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Abstract

We describe the latest improvements of our spectral and angular light scattering characterization apparatus (SALSA) and in particular its automatic spectral calibration using gas discharge sources.

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波长和角度分辨散射计的自动光谱校准

我们描述了我们的光谱和角光散射表征装置(SALSA)的最新改进，特别是其使用气体放电源的自动光谱校准。

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Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022

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