DESAIN LVDT SEBAGAI TRANSDUCER PENGUKUR TEBAL FILM TIPIS

Jurnal Material dan Energi Indonesia Pub Date : 2016-06-05 DOI:10.24198/JMEI.V6I01.11147

Jajat Yuda Mindara, S. Hidayat, N. Syakir, Wahyu Alamsyah

{"title":"DESAIN LVDT SEBAGAI TRANSDUCER PENGUKUR TEBAL FILM TIPIS","authors":"Jajat Yuda Mindara, S. Hidayat, N. Syakir, Wahyu Alamsyah","doi":"10.24198/JMEI.V6I01.11147","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Linier Variable Deference Transformer (LVDT) adalah salah satu transducer yang dapat digunakan untuk pengukuran tebal profil film tipis menggunakan metode Stylus-Elektromekanis. Untuk menerapkan metoda tersebut diperlukan suatu instrumentasi yang terdiri dari perangkat keras dan perangkat lunak.Perangkat keras akan mengolah fluktuasi sinyal analog akibat gerak stylus diatas sampel film tipis yang dikopel pada ferit sebagai inti transducer LVDT, kemudian mengubahnya menjadi sinyal digital. Selanjutnya sinyal digital ini direkam ke dalam komputer melalui fasilitas akusisi data. Perangkat keras dirancang berdasarkan domain waktu.Perangkat lunak dirancang untuk melakukan akusisi data, mengolahnya, berikut intepretasi kuantitatifnya. Oleh karenanya sistem instrumentasi pengukur tebal profil film tipis ini dibuat dilengkapi pula dengan berbagai submenu yang diperlukan, sehingga seluruh proses mulai dari akusisi data sampai dengan intepretasinya dapat dilakukan secara bersamaan.Sensitivitas dari pengukuran bergantung dari parameter geometri tarnsducer LVDT yaitu, panjang dan luas penampang kumparan, jumlah lilitan, karakteristik osilator eksitasi dan stylus. Dalam riset ini, didesain untuk sensitifitas optimalnya 2,5mV/1,5mm. Alternatif untuk meningkatkan sensitivitas yaitu merubah panjang kumparan menjadi 1-mm, dengan ini akan didapat sensitivitas optimal 2,5 mV/0,5mm. Cara ini masih terus diuji coba.","PeriodicalId":209447,"journal":{"name":"Jurnal Material dan Energi Indonesia","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2016-06-05","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Jurnal Material dan Energi Indonesia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.24198/JMEI.V6I01.11147","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Linier Variable Deference Transformer (LVDT) adalah salah satu transducer yang dapat digunakan untuk pengukuran tebal profil film tipis menggunakan metode Stylus-Elektromekanis. Untuk menerapkan metoda tersebut diperlukan suatu instrumentasi yang terdiri dari perangkat keras dan perangkat lunak.Perangkat keras akan mengolah fluktuasi sinyal analog akibat gerak stylus diatas sampel film tipis yang dikopel pada ferit sebagai inti transducer LVDT, kemudian mengubahnya menjadi sinyal digital. Selanjutnya sinyal digital ini direkam ke dalam komputer melalui fasilitas akusisi data. Perangkat keras dirancang berdasarkan domain waktu.Perangkat lunak dirancang untuk melakukan akusisi data, mengolahnya, berikut intepretasi kuantitatifnya. Oleh karenanya sistem instrumentasi pengukur tebal profil film tipis ini dibuat dilengkapi pula dengan berbagai submenu yang diperlukan, sehingga seluruh proses mulai dari akusisi data sampai dengan intepretasinya dapat dilakukan secara bersamaan.Sensitivitas dari pengukuran bergantung dari parameter geometri tarnsducer LVDT yaitu, panjang dan luas penampang kumparan, jumlah lilitan, karakteristik osilator eksitasi dan stylus. Dalam riset ini, didesain untuk sensitifitas optimalnya 2,5mV/1,5mm. Alternatif untuk meningkatkan sensitivitas yaitu merubah panjang kumparan menjadi 1-mm, dengan ini akan didapat sensitivitas optimal 2,5 mV/0,5mm. Cara ini masih terus diuji coba.

查看原文本刊更多论文

LVDT设计为薄膜转换器

线性变化反变压器(LVDT)是一种换能器，它可以用设计机电方法来测量薄胶片轮廓的厚度。要实现这种方法，需要由硬件和软件组成的仪器。该硬盘将处理来自钢针的模拟信号的波动，在一个薄的胶体样本上，将苯基作为LVDT转换器核心，然后将其转换成数字信号。接下来，这些数字信号通过数据习得设施被记录到计算机中。硬件是基于时间域设计的。该软件被设计成执行数据获取，进行处理，并提供定量信息。因此，这台制作的厚表、薄片简介系统还配备了必要的子菜单，使整个过程从数据准确度一直到可同时完成。测量的灵敏度取决于线圈导管的长度和宽度、缠结的数量、振荡器的特征和笔尖。在这项研究中，设计用于其最佳敏感性2.5 mv / 1.5毫米。增加线圈长度为1毫米的替代方法，获得最佳灵敏度2.5 mV/ 0.5毫米。这条路还在试验中。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Jurnal Material dan Energi Indonesia

自引率

0.00%

发文量