Mikrofluidikai cella tervezése és gyártása spektroszkópiai ellipszométerhez

Abstract

Anyagvizsgálatoknál vagy egyes gyártási eljárásokban igen gyakran alkalmazott módszer a vékonyrétegek létrehozása a szövetszerkezet előhívására, illetve felületkezelési célból. Az eljárás széles körű használata ellenére a rétegépülés folyamatának fizikai háttere jelenleg sem teljesen feltérképezett. Vizsgálatához olyan eljárások és eszközök kidolgozására van szükség, amelyekkel a meglévőket kombinálva a rétegépülés jelensége folyamatában nyomon követhetővé válik. Erre a problémára a mikrofluidikai cellák fejlesztése jelenthet megoldást. Jelen cikkben egy új fejlesztésű mikrofluidikai cellát mutatunk be, amely több, a korábbi cellák használata során jelentkező problémára is megoldást kínál.