Comparing high-frequency de-embedding strategies: immittance correction and in-situ calibration

Abstract

A comparison is made between the widely used immittance correction technique (dummy dc-embedding) and the newel" in-situ calibration. The accuracy of the immittancc CDITcClion technique is limited hy the ils$llmption that the rcl"crcnce structures lH\ve ideal characteristics. Using ill-situ cal ilmltlon tlic true characteristics of these structures call be me

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高频去嵌入策略的比较:阻抗校正与原位标定

比较了目前广泛应用的假直流校正技术和新井原位校正技术。由于约束约束约束结构必须具有理想的特性，限制了约束约束约束技术的精度。利用非原位电阻法测量这些结构的真实特性，以便准确地评估电阻率的精度限制。原位校准似乎更准确，更灵活，特别是在硅基板上。

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