Test de cavitation ultrasonore appliqué à la caractérisation des revêtements minces

Abstract

Les couches minces se retrouvent dans de nombreuses applications comme revetements fonctionnels. D’un point de vue technologique, la question de la stabilite de ces revetements est fondamentale pour la conservation de leurs proprietes. Cependant, peu de tests habituellement utilises pour caracteriser cette stabilite mecanique sont adaptes a ces couches minces, et, en particulier, a l’etude de l’adhesion et de la cohesion des revetements d’epaisseur inferieure au micrometre, ou de revetements minces discontinus (particulaires, granulaires, etc.). Cet article presente le test de cavitation ultrasonore applique specifiquement a la determination de l’adhesion et de la cohesion de ces types de revetements.