Система плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения покрытий из порошковых диэлектрических материалов

8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects Pub Date : 2022-11-14 DOI:10.56761/efre2022.c1-o-025401

И.И. Ажажа, В.В. Шугуров

{"title":"Система плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения покрытий из порошковых диэлектрических материалов","authors":"И.И. Ажажа, В.В. Шугуров","doi":"10.56761/efre2022.c1-o-025401","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В данной работе приведены результаты разработки и исследования системы плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения диэлектрических покрытий из порошковых материалов. Система состоит из мишени диаметром 200 мм с порошковым материалом из которого наносятся покрытия и генератора газовой плазмы «ПИНК». Система позволяет понизить давление нанесения покрытий, значительно повысить скорость нанесения покрытия и позволяет управлять свойствами наносимых покрытий за счёт плазменного ассистирования в процессе осаждения. Исследования проводились на установке электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности «КОМПЛЕКС», разработанной в лаборатории плазменной эмиссионной электроники ИСЭ СО РАН.","PeriodicalId":156877,"journal":{"name":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","volume":"1 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-11-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.56761/efre2022.c1-o-025401","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

В данной работе приведены результаты разработки и исследования системы плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения диэлектрических покрытий из порошковых материалов. Система состоит из мишени диаметром 200 мм с порошковым материалом из которого наносятся покрытия и генератора газовой плазмы «ПИНК». Система позволяет понизить давление нанесения покрытий, значительно повысить скорость нанесения покрытия и позволяет управлять свойствами наносимых покрытий за счёт плазменного ассистирования в процессе осаждения. Исследования проводились на установке электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности «КОМПЛЕКС», разработанной в лаборатории плазменной эмиссионной электроники ИСЭ СО РАН.

查看原文本刊更多论文

电介质粉末涂层等离子-洗洗系统

该工作提供了用粉末制成的电介质涂层电介质处理系统的开发和研究结果。该系统由直径200毫米的目标组成，粉状材料由涂层和pink等离子发生器组成。该系统允许降低涂层压力，大大提高涂层速度，并允许通过在沉积过程中等离子协助控制涂层的特性。研究是在iso ran等离子体发射实验室开发的“复合体”表面电子离子工程上进行的。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

自引率

0.00%

发文量