Бессеточная система генерации низкоэнергитического ионного пучка на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов

Илья Сергеевич Лопатин, Ю. Х. Ахмадеев, Александр Петров
{"title":"Бессеточная система генерации низкоэнергитического ионного пучка на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов","authors":"Илья Сергеевич Лопатин, Ю. Х. Ахмадеев, Александр Петров","doi":"10.56761/efre2022.c1-p-022503","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Разработана система генерации ионного пучка на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов. Система предназначена для ионно- пучкового осаждения покрытий на основе алюминия, в том числе его оксида. Особенностью системы является отсутствие конструктивного элемента, определяющего границу плазмы. Граница плазмы ограничена образованием двойного электростатического слоя между плазмой основного и вспомогательного разрядов. В качестве генератора вспомогательной плазмы использовался ПИНК. Двойной электростатический слой локализовался вблизи эмиссионного окна, через которое осуществлялась встречная эмиссия электронов и ионов. Показано, что диапазон рабочих давлений системы составляет от 0.1 до 1 Па, ток основного разряда составляет единицы ампер. Также показана возможность управления разностью потенциалов на двойном электростатическом слое за счет изменения напряжения горения основного тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекции электронов.","PeriodicalId":156877,"journal":{"name":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","volume":"87 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-11-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.56761/efre2022.c1-p-022503","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0

Abstract

Разработана система генерации ионного пучка на основе тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекцией электронов. Система предназначена для ионно- пучкового осаждения покрытий на основе алюминия, в том числе его оксида. Особенностью системы является отсутствие конструктивного элемента, определяющего границу плазмы. Граница плазмы ограничена образованием двойного электростатического слоя между плазмой основного и вспомогательного разрядов. В качестве генератора вспомогательной плазмы использовался ПИНК. Двойной электростатический слой локализовался вблизи эмиссионного окна, через которое осуществлялась встречная эмиссия электронов и ионов. Показано, что диапазон рабочих давлений системы составляет от 0.1 до 1 Па, ток основного разряда составляет единицы ампер. Также показана возможность управления разностью потенциалов на двойном электростатическом слое за счет изменения напряжения горения основного тлеющего разряда с полым катодом и внешней инжекции электронов.
低能离子束无栅极生成系统
一个基于中空阴极和外注入电子的发光放电系统被开发出来。该系统的设计目的是对包括氧化物在内的铝涂层的离子-波沉积。该系统的特点是缺乏定义等离子体边界的建设性元素。等离子体的边界仅限于主放电和辅助放电之间的双重静电层的形成。pink被用作辅助等离子发生器。在发射窗口附近有一个双静电层,用来发射电子和离子。该系统的工作压力范围从0.1 pa到1 pa不等,主放电电流为单位安培。它还显示了通过改变中空阴极和外部电子注入的主引燃电压来控制双静电层的电位差。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
求助全文
约1分钟内获得全文 求助全文
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信