Temperature and Thickness Dependence of Electrical Conductivity of Flash-Evaporated InSb Films

Abstract

The electrical conductivity as a function of film temperature, substrate temperature, and thickness is reported on InSb films flash evaporated onto gold seal glass, freshly cleaved mica and cleaved NaCl substrates in a vacuum of 6.7 × 10−4 Pa. Post deposition annealing shows an interesting behaviour in the electrical conductivity. The structure of the films is found to improve with substrate temperature and single crystal growth is observed at Ts = 573 K. While the electrical conductivity shows an increasing behaviour with substrate temperature and thickness, the activation energy shows a decreasing trend. Die elektrische Leitfahigkeit wird in Abhangigkeit von der Schichttemperatur, Substrattemperatur und Dicke an InSb-Schichten untersucht, die auf goldversiegeltem Glas, frisch gespaltenem Glimmer und im Vakuum von 6,7 × 10−4 Pa gespaltenen NaCl-Substraten blitzaufgedampft werden. Eine Temperung nach der Aufbringnng ergibt ein interessantes Verhalten der elektrischen Leitfihigkeit. Es wird gefunden, daB sich die Struktur der Schichten mit der Substrattemperatur ver-bessert und bei Ts = 573 K wird Einkristallwachstum beobachtet. Wahrend die elektrische Leitfahigkeit mit der Substrattemperatur und Dicke ein steigendes Verhalten zeigt, hat die Akti-vierungsenergie einen fallenden Trend.