Micro-supercondensateurs à base de films de carbone nanoporeux intégrés sur silicium

Abstract

La multiplication des applications mobiles engendre un besoin en systemes de stockage de l’energie compacts et performants. Cet article presente la conversion de films de carbure de titane (TiC) integres sur wafer de silicium en carbone nanoporeux. Le controle des parametres de la chloration (temperature, temps) permet d’obtenir des films de carbone adherents presentant des proprietes d’elasticite uniques, avec des valeurs de capacite exceptionnellement elevees en milieu aqueux. L’utilisation d’un electrolyte organique engendre des densites d’energies et de puissance surpassant celles des meilleurs micro-supercondensateurs carbone-carbone reportes jusqu’a present.