Cubic SiC Nano-thin Films and Nano-wires: High Vacuum MOCVD, Surface Characterization, and Application Tests

2006 IEEE Conference on Emerging Technologies - Nanoelectronics Pub Date : 2006-03-27 DOI:10.1109/NANOEL.2006.1609762

J. Hyun, B. Kang, J. Park, S. Nam, J. Boo

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Abstract

Singlecrystalline, epitaxial cubic silicon carbide (β-SiC) nano-thin films have been deposited on Si

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