ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes

Abstract

Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs selectivites dependent de la structuration, de la morphologie et de la nature des materiaux utilises. La technique de depot par couche atomique ou ALD apparait comme une technique de choix de par sa simplicite et l’homogeneite des depots, ainsi que du controle de l’epaisseur au niveau atomique. Cet article presente l’utilisation de l’ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les realisations possibles en termes de detection et de separation. L’avantage de cette technique par rapport a des approches plus conventionnelles est mis en evidence par quelques exemples choisis dans la litterature.