АТТЕСТАЦИЯ НАНОЛИНЕЙНОГО ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО ДАТЧИКА НИ ЛДГ (РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ) И ДАТЧИКА AT715 (ЯПОНИЯ)

Nanoindustry Russia Pub Date : 2023-03-31 DOI:10.22184/1993-8578.2023.16.2.152.158

Б.Г. Турухано, Н. Турухано, Ю.М. Лавров, О.Г. Ермоленко, С.Н. Ханов

引用次数: 0

Abstract

Наноизмерительный линейный датчик голографический (НИ ЛДГ) и AT715 представ- ляют собой высокоточные измерительные устройства перемещений и длин. Измерительным элементом НИ ЛДГ является линейная голографическая дифракционная решетка. Линейная шкала AT715 работает по принципу электромагнитной индукции. Датчики НИ ЛДГ и AT715 имеют рабочий диапазон более 1000 мм.

查看原文本刊更多论文

纳米全息传感器评估(俄罗斯联邦)和AT715(日本)

全息测量传感器(nldg)和AT715具有精确的运动测量设备和长度。ldg的测量元件是线性全息衍射光栅。AT715的线性刻度是电磁感应的。ldg和AT715传感器的工作范围都超过1000毫米。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Nanoindustry Russia

自引率

0.00%

发文量