NUMERICAL ALGORITHM FOR SIMULATING ETCHING PROFILES BY LEVEL-SET METHOD WITH AN ARBITRARY RATE FUNCTION

Mathematical modeling in materials science of electronic component Pub Date : 2022-10-22 DOI:10.29003/m3074.mmmsec-2022/80-82

R. Alyaev, A. Lebedev

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Abstract

The work includes the development and verification of a software tool for modelling the etching of two-dimensional profiles using wet and dry etching

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任意速率函数水平集法模拟蚀刻轮廓的数值算法

这项工作包括开发和验证一个软件工具，用于使用湿法和干法蚀刻对二维轮廓进行建模

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