Athermal silicon nitride 4-channel (de-)multiplexer based on cascaded MZIs

International Photonics and OptoElectronics Meeting 2019 (OFDA, OEDI, ISST, PE, LST, TSA) Pub Date : 2019-11-11 DOI:10.1364/isst.2019.jw4a.63

Shiqi Tao, Qingzhong Huang, C. Zeng, J. Xia

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Abstract

We have designed and realized an athermal (de-)multiplexer in silicon nitride (SiN) by cascaded Mach–Zehnder interferometers (MZIs), demonstrating an extremely low thermal sensitivity <4.8 pm/°C for all the four channels.

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