Mid-Infrared Silicon Waveguide-Based Bolometer

2019 IEEE 16th International Conference on Group IV Photonics (GFP) Pub Date : 2019-08-01 DOI:10.1109/GROUP4.2019.8853919

W. Cao, A. Khokhar, G. Mashanovich, O. Muskens, M. Nedeljkovic, A. Osman, J. S. Penadés, Z. Qu, Yangbo Wu

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Abstract

We demonstrate the first waveguide-based bolometers on Silicon-on-Insulator (SOI) platform for mid-infrared (MIR) wavelengths, which use plasmonic antennas as absorbing elements. The bolometer achieves a sensitivity of 0.80 % change in resistance per milliwatt of input power at the 3.8 μm wavelength.

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基于中红外硅波导的测热计

我们在绝缘体上硅(SOI)平台上展示了第一个基于波导的中红外(MIR)波长热计，它使用等离子体天线作为吸收元件。在3.8 μm波长处，测热计的灵敏度为每毫瓦输入功率电阻变化0.80%。

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