Table top ultraviolet lasers enable new nano-patterning schemes

2009 IEEE LEOS Annual Meeting Conference Proceedings Pub Date : 2009-12-01 DOI:10.1109/LEOS.2009.5343472

M. Marconi, L. Urbanski, P. Wachulak, A. Isoyan, F. Jiang, Y. Cheng, J. Rocca, C. Menoni, F. Cerrina

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Abstract

We present results with different nanopatterning techniques using table top extreme ultraviolet lasers. The three approaches are interferometric lithography, Talbot self imaging and holographic projection lithography.

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2009 IEEE LEOS Annual Meeting Conference Proceedings

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